热丝HFCVD金刚石沉积装置

微热丝化学气相沉积(HOT FILAMENT CHEMICAL，VAPOR DEPOSITION，HFCVD)技术是金刚石薄膜沉积的常用技术之一，具有设备简单、操作便利、成本较低、适用于大面积、复杂形状刀具金刚石涂层沉积等优点。

关键词：标准漏孔 | MPCVD | 电容薄膜规真空计 | 高低真空校准装置 | 氦漏孔校准装置

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产品介绍
微热丝化学气相沉积(HOT FILAMENT CHEMICAL，VAPOR DEPOSITION，HFCVD)技术是金刚石薄膜沉积的常用技术之一，具有设备简单、操作便利、成本较低、适用于大面积、复杂形状刀具金刚石涂层沉积等优点。本公司设计制造的HFCVD设备是用以在硬质合金刀具基体沉积金刚石薄膜的专用设备该设备具备手动/自动两种控制功能，通过人机界面操作，能满足各种复杂的沉积金刚石涂层工艺的要求。

技术参数

HF350		HF450		HF550
反应腔尺寸	Ф350×420mm	反应腔尺寸	Ф450×450mm	反应腔尺寸	Ф550×550mm
反应腔升降行程	350mm	反应腔升降行程	350mm	反应腔升降行程	350mm
工作台尺寸	200x100x80mm	工作台尺寸	220×220mm	工作台尺寸	φ300mm 300×300mm
工作台升降行程	£90 mm	工作台升降行程	£90 mm	工作台升降行程	£90 mm
工作气压调节范围	1000-10000 Pa (±5%)	工作气压调节范围	1000-10000 Pa (±5%)	工作气压调节范围	1000-10000 Pa (±5%)
反应腔极限真空度	≤3 Pa	反应腔极限真空度	≤3 Pa	反应腔极限真空度	≤3 Pa
反应腔保压能力	≤50 Pa/hrs	反应腔保压能力	≤50 Pa/hrs	反应腔保压能力	≤50 Pa/hrs
四路质量流量计配气	氢气、甲烷、氮气、氩气	四路质量流量计配气	氢气、甲烷、氮气、氩气	四路质量流量计配气	氢气、甲烷、氮气、氩气
热丝加热功率	10 kW	热丝加热功率	20 kW	热丝加热功率	30 kW
设备总功率	15 kW	设备总功率	25 kW	设备总功率	36 kW
直流偏压（需选配）	0-100 V (可定制）	直流偏压（需选配）	0-100 V (可定制）	直流偏压（需选配）	0-100 V (可定制）
直流偏流（需选配）	0-5A (可定制）	直流偏流（需选配）	0-5A (可定制）	直流偏流（需选配）	0-5A (可定制）
基体温度	500-1300 °C	基体温度	500-1300 °C	基体温度	500-1300 °C

主要特点
1.该设备具有弹性拉丝和配重锤拉丝机构，在最高热丝温度（2300°C左右）下，可以使热丝保持平直不弯曲；
2.配套可编程工艺参数可保证金刚石薄膜沉积速率的稳定性，并可满足各类高质量金刚石薄膜的沉积，包括微米金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜和微纳多层复合膜等；
3.设备整体结构经过优化设计，可满足不同形状基体表面金刚石薄膜的均匀沉积，并可用于金刚石薄膜涂层刀具、热沉片和陶瓷金属密封环的批量化生产；
4.钟罩、底盘、工作台和反应腔体均采用水冷以避免过热，且另装有安全联锁和保护装置，可以确保设备的安全运行。

功能
1.能够实现在复杂形状硬质合金基体表面自动化生产批量均匀的沉积高质量金刚石薄膜。
2.真空反应腔可调压力范围可以满足各类金刚石薄膜沉积的要求，即可线性调节压力范围为1000~10000 Pa。
3.采用水冷工作台，工作台在反应腔打开和设备运行条件下可升降；刀具装入夹具后，整体方便移动而不掉出，放入样品台后保证稳定固定。
4.采用钽丝作为热源，采用耐高温热丝装夹及张紧装置，弹簧拉丝机构和配重锤拉丝机构，保证沉积过程中热丝平直，不弯曲下垂；热丝温度可达到2200 °C，衬底温度可测温，热丝工作状态异常具有报警功能。基体与热丝间的距离可根据金刚石薄膜沉积要求自由调整。
5.钟罩式反应腔为夹套式，侧面有观察窗，反应腔夹套及底盘均采用水冷，底盘进出气口确保气密性并可在沉积过程中耐高温。采用高性能真空泵排气系统，可保证反应压力的稳定性，无气体外泄。
6.水冷回路包括总进水和排水口，各分路供水流畅。
7.带真空、压力、水压、危险气体泄露、加热安全联锁和保护装置及相应报警系统，可确保设备的安全运行；炉腔升、降，放气键，采用实体键和虚拟键。
8.4路配气系统，分别为氢气、甲烷、氩气和氮气，采用进口质量流量计控制流量。（可选配增加气体流量和液体掺杂流量）
9.气由钟罩顶端进气，出气口在工作台下方，确保反应腔内气体分布的均匀性。
10. HFCVD沉积设备中的控制参数经过相应的传感器测量，测量的信号数据进行A/D转换和信号调理传输到工控机中，对数据进行采集、显示、运算等步骤，得到检测信号数据，实现自动工艺数据存储的功能，保存数据容量达到1年。

优点：

操作简单、全自动化控制

提供生产夹具、满足用户需求

提供配套生产工艺

终身技术支持

一站式解决配套方案

设备特点
全自动工控界面、支持远程操控.一键式开关机，实现无人值守.自动非接触式远红外测温.选用精密直流电源、水路全监测.选用高效率直联旋片泵.

应用
金刚石涂层刀具可以应用于高速加工，原因是除了金刚石涂层刀具具有优良的机械性能外，金刚石涂层工艺能够制备任意复杂形状铣刀，用于高速加工如铝、钛合金、航空材料和难加工非金属材料如石墨电极等;