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热丝HFCVD金刚石沉积装置

热丝HFCVD金刚石沉积装置

微热丝化学气相沉积(HOT FILAMENT CHEMICAL，VAPOR DEPOSITION，HFCVD)技术是金刚石薄膜沉积的常用技术之一，具有设备简单、操作便利、成本较低、适用于大面积、复杂形状刀具金刚石涂层沉积等优点。

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