氦漏孔校准装置

本资料针对DBLS10-5氦气漏孔校准装置的组成、操作以及维护。本装置适用于计量测试单位开展标准漏孔校准，量值溯源。本系统结构简单，易于操作、维护，效率高。

关键词：标准漏孔 | MPCVD | 电容薄膜规真空计 | 高低真空校准装置 | 氦漏孔校准装置

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本资料针对DBLS10-5氦气漏孔校准装置的组成、操作以及维护。本装置适用于计量测试单位开展标准漏孔校准，量值溯源。本系统结构简单，易于操作、维护，效率高。
1、设备使用环境条件：
环境温度20±5℃
相对湿度＜85%RH
电源电压220V
2、技术指标：
标准漏孔校准范围（1×10-4～1×10-10）Pa•m3/s，
不确定度：U=(10～15)%（k=2）；
氦气（真空模式）最低可检漏率<5E-12mbar•L/s；
ULTRA模式最大进气口压力<0.4mbar；
含两个灯丝离子源（3年质保）的耐用质谱系统；
专用校准软件可实现计算机数据采集、漏率计算和原始记录生成；
满足JJF1833-2020《真空氦标准漏孔校准规范》的测量要求。