膨胀法真空装置

本真空标准装置主要用于( 1.3×105 ～ 1.3×10-1 ) Pa范围内电容薄膜真空计，热偶真空计等的检定/校准工作，主要具有以下特点： 1.1兼顾比较法和膨胀法两种装置，便于客户灵活灵活掌握和保证设备可以长期使用； 1.2膨胀法装置部分选取所有仪器和设备均可以提供长期质保。比较法用标准器电容薄膜规有原厂提供质保。 1.3采用专用软件进行数据采集及处理，工作效率高； 1.4系统软件终身免费升级，装置总体水平达到国内先进水平。

关键词：标准漏孔 | MPCVD | 电容薄膜规真空计 | 高低真空校准装置 | 氦漏孔校准装置

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一概述
本真空标准装置主要用于( 1.3×105 ～ 1.3×10-1 ) Pa范围内电容薄膜真空计，热偶真空计等的检定/校准工作，主要具有以下特点：
1.1兼顾比较法和膨胀法两种装置，便于客户灵活灵活掌握和保证设备可以长期使用；
1.2膨胀法装置部分选取所有仪器和设备均可以提供长期质保。比较法用标准器电容薄膜规有原厂提供质保。
1.3采用专用软件进行数据采集及处理，工作效率高；
1.4系统软件终身免费升级，装置总体水平达到国内先进水平。

二主要技术指标
2.1 设备组成：膨胀系统、抽气系统、前级压力测量系统、控制系统等组成。
2.2 技术原理：静态比较法，一级膨胀；
2.3 测量范围：(1.3×105～1.332×10 ) Pa；
2.4 极限真空度：≤1×10-4Pa；
2.5 不确定度技术要求：：
（1.332×105～1.332Pa×103）Pa          U≤0.08 % k=2 静态比对法；
（1.332×103～13.32Pa）       U≤0.2% k=2   一级膨胀；
（13.32×10～1.332Pa）        U≤0.5% k=2   一级膨胀；
（1.332×10～0.1332Pa）        U≤1% k=2   一级膨胀

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