定制漏孔（氦检漏仪内置标准漏孔）VTL-EA型

检漏仪内置标准漏孔是检漏仪部件中非常重要的一部分，与检漏仪的精确度息息相关，检漏仪器检测过程中用来校准其精度的一种标准漏率。

关键词：标准漏孔 | MPCVD | 电容薄膜规真空计 | 高低真空校准装置 | 氦漏孔校准装置

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检漏仪内置标准漏孔是检漏仪部件中非常重要的一部分，与检漏仪的精确度息息相关，检漏仪器检测过程中用来校准其精度的一种标准漏率。通过比较检漏仪对这些标准漏孔进行检测时的响应值与实际尺寸的差异，可以评估检漏仪的检测精度和稳定性，在检漏仪的检测过程中，由于受到环境、物质等各种因素的影响，检测结果可能会出现误差。此时若采用标准漏孔进行校准，便可以提高检测仪器的准确性和可靠性。

目前通常是厂家提供的铝制渗氦标准漏孔，漏率一般是10-8Pa·m3/s量级，东贝真空制作的内置标准漏孔是采用微通道毛细管的通道型漏孔。

技术参数一览表

VTL	-EA
漏孔元件	微通道毛细管	漏率	10-8Pa.m3/s (其他漏率可定制）
充压	可重复充气	对外接口	根据检漏仪接口定制，如KF16
示值允许偏差	±10%	温度补偿	＜0.3%/℃
应用	可以替代当前主流品牌检漏仪的内置漏孔，例如：INFICON(英福康）、Leybold（莱宝）、Pfeiffer/Adixen(普发/阿尔卡特）、KYKY

特点

抗震抗摔，使用寿命长：检漏仪自带漏孔为渗氦漏孔，泄漏元件是玻璃渗透膜，非常容易破碎损坏，而且不能充气重复使用，厂家建议一般2年更换漏孔，东贝真空采用的微通道毛细管通道型漏孔，抗震抗摔，使用寿命一般为渗透膜材质漏孔几倍甚至更长。

漏率稳定：检漏仪自带的渗氦漏孔，温度系数一般为3.0%~4.0%/℃，由于天气不同的温差，以及检漏仪内部开机前后内部相对封闭环境的温度变化等，均会对漏孔的漏率影响较大，而且渗氦漏孔的稳定时间非常长，通常需要几个小时，这必然会造成检漏仪的偏差；东贝真空采用的微通道毛细管技术温度补偿小于0.3%/℃，可忽略温度补偿（温度变化10℃漏率变化相当于渗氦漏孔变化1℃）。