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MPCVD单晶金刚石生长机器设备

MPCVD单晶金刚石生长机器设备

微波等离子体化学气相沉积 (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition )是高效、高质量制备金刚石的首选方法，打破了设备对 衬底尺寸的限制，为大面积单晶金刚石生长提供条件。

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